原理：

根據(jù)空氣中各組分的沸點不同，經(jīng)加壓、預(yù)冷、純化、并利用大部分由透平膨賬機(jī)提供的冷量使之液化，再進(jìn)行精餾，從而獲得所需要的氧氣、氮氣及其它稀有氣體的過程。具體原理為空氣經(jīng)過增壓膨脹對外作功處于冷凝溫度，當(dāng)穿過比它溫度低的氧、氮組成的液體層時，由于氣、液之間溫度差的存在，要進(jìn)行熱交換，溫度低的液體吸收熱量開始蒸發(fā)，其中氮組分首先蒸發(fā)，溫度較高的氣體冷凝，放出冷凝熱，氣體冷疑時，首先冷疑氧組分．此過程一直進(jìn)行到氣、液處于平衡狀態(tài)。這時，液相由于蒸發(fā)，使組分減少，同時由于氣相冷疑的氧也進(jìn)入液相，因此液相的氧濃度增加了，同樣氣相由于冷疑使氧組分減少，同時由于液相的氮進(jìn)入氣相，因此氣相的氮濃度增加了多次的重復(fù)上述過程，氣相的氮濃度就不斷增加，液相的氧濃度也能不斷的增加這樣經(jīng)過多次的蒸發(fā)與冷凝就能完成整個精餾過程，從而將空氣中的氧和氮分離開來。

設(shè)備特點：

利用深冷法制氧，首先要將空氣液化，再根據(jù)氧、氮沸點不同將它們分離開來?？諝庖夯仨殞囟冉档?140.6℃以下。一般空氣分離是在-172 ～ -194℃的溫度范圍進(jìn)行的。用深冷法制氧的設(shè)備具有以下特點：

1) 低溫?fù)Q熱器、精餾塔等低溫容器及管道置于保冷箱內(nèi)，并充填有熱導(dǎo)率低的絕熱材料，防止從周圍傳入熱量，減少冷損，否則設(shè)備無法運行；

2) 用于制造低溫設(shè)備的材料，要求在低溫下有足夠的強度和韌性，以及有良好的焊接、加工性能。常用鋁合金、銅合金、不銹鋼等材料；

3) 空氣中高沸點的雜質(zhì)，例如水分、二氧化碳等，應(yīng)在常溫時預(yù)先清除。否則會堵塞設(shè)備內(nèi)的通道，使裝置無法工作；

4) 空氣中的乙炔和碳?xì)浠衔镞M(jìn)入空分塔內(nèi)，積聚到一定程度，會影響安全運行，甚至發(fā)生爆炸事故。因此，必須設(shè)置凈化設(shè)備將其清除；

5) 貯存低溫液體的密閉容器，當(dāng)外界有熱量傳入時，會有部分低溫液體吸熱而氣化，壓力會自動升高。為防止超壓，必須設(shè)置可靠的安全裝置；

6) 低溫液體漏入基礎(chǔ)，會將基礎(chǔ)凍裂，設(shè)備傾斜。因此必須保證設(shè)備、管道和閥門的密封性，要考慮熱脹冷縮可能產(chǎn)生的應(yīng)力和變形；

7) 被液氧浸漬過的木材、焦炭等多孔有機(jī)物質(zhì)，當(dāng)接觸火源或給以一定的沖擊力時，會發(fā)生激烈的燃爆。因此，冷箱內(nèi)不允許有多孔性的有機(jī)物質(zhì)。對液氧的排放，應(yīng)預(yù)先考慮有專門的液氧排放管路和容器，不能走地溝；

8) 低溫液體長期沖擊碳素鋼板，會使鋼板脆裂。因此，排放低溫液體的管道及排放槽不能采用碳素鋼制品；

9) 氮氣、氬氣是窒息性氣體，其液體排放管應(yīng)引至室外。氣體排放管應(yīng)有一定的排放高度，排放口不能朝向平臺樓梯；

10) 氧氣是強烈的助燃劑，其排放管不能直接排在不通風(fēng)的廠房內(nèi)。